华海清科国内首台板级CMP装备量产交付，先进封装国产替代再下一城，关注半导体设备ETF易方达（159558）

截至13：01，中证半导体材料设备主题指数（931743）跌0.45%；权重股，中微公司跌0.54%，北方华创跌0.54%，长川科技跌0.86%，拓荆科技跌0.16%，华海清科跌0.4%，中科飞测跌1.98%，江丰电子跌1.58%，华峰测控跌0.82%，芯源微跌0.8%，沪硅产业跌0.7%；该指数近1年涨127%。

半导体设备ETF易方达（159558）跟踪中证半导体材料设备主题指数。

消息面上，近日，华海清科自主研发的全自动板级CMP量产装备Master-P510APEX顺利出机，发往先进封装产线投入量产应用。据悉，这是国内首台进入量产线的全自动板级CMP装备。它的出机标志着国产CMP装备技术从传统晶圆级应用，成功向板级封装领域延伸，为先进封装产业链补上了关键一环。

招商证券表示，据统计，截至2025年，国内半导体设备整体国产化率约21%（2021年仅9%），但结构分化显著。成熟环节已具备批量导入基础：清洗约50%、CMP约40%、热处理约40%、刻蚀约30%、薄膜沉积PVD/CVD约30%。而高壁垒环节仍处国产化早期：涂胶显影约5%、离子注入约5%、检测量测低于10%，先进制程（14nm以下）整体仅约10%。低国产化率环节（涂胶显影、检测量测等）技术壁垒高、海外依赖度强，一旦完成从验证到批量导入的突破，随头部存储厂扩产将进入放量周期，景气弹性显著高于成熟环节。

半导体设备ETF易方达（159558）紧密跟踪中证半导体材料设备主题指数，该指数聚焦半导体设备与半导体材料领域，在国产化趋势中具备较强弹性。

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