中芯国际的大扩产计划,有望大力带动国产半导体设备、材料产业的发展。 “相比原来产线,国产设备、材料切入新建产线更加容易,也可以获得更多的份额。”对此,上述业内人士表示,中芯国际扩产28nm等成熟制程,已经具有成熟产品的国产半导体设备公司、以及半导体材料公司,将迎来强劲增长机遇。

相关数据显示,10万片月产能的成熟制程晶圆厂,设备采购额高达70亿美元(约450亿元)。华西证券研报显示,在晶圆制造设备开支占比上,刻蚀设备占比约22.1%、CVD设备16.4%,合计64.9%;CMP设备3.5%,离子注入设备3%,溅射设备4.8%,热处理设备2.7%, 清洗设备7%,前道检测设备10.5%。 多家国产半导体设备商已经可以提供用于前道28nm及以上制程的设备。 具体来看,中微公司、北方华创可提供刻蚀机。其中,中微公司在CCP电容性高能等离子体刻蚀机和ICP电感性低能等离子体刻蚀机两种设备上,中微公司都开发了单反应台反应器、双反应台反应器,来满足不同客户需求。

万业企业可提供低能大束流、低能大束流重金属、低能大束流超低温、高能离子注入机设备等多种型号的离子注入机设备,公司已经取得了7台订单。 万业企业半年披露了控股子公司凯世通的经营情况 至纯科技的前道用槽式、单片式湿法设备需求旺盛。公司在半年报中披露,公司上半年整体新增订单17.2亿元,达到去年全年新增订单的88%。其中,湿法设备新增订单4.3亿元(湿法设备中单片设备新增订单2亿元),达到去年全年湿法订单的85%。

此外,芯源微可提供涂胶显影设备,精测电子的前道晶圆检测复查设备已经进入客户验证流程。

中芯国际新建产线投产后,将大幅拉动国产半导体材料的出货量。

“月产能10万片的晶圆厂,每个月双氧水用量约1000吨、硫酸约1200吨。”对于中芯国际扩产,晶瑞电材董秘陈万鹏告诉记者,这对国产半导体材料是大利好,晶瑞电材的双氧水、硫酸将“供不应求”。

除了高纯双氧水、高纯硫酸等,晶瑞电材的光刻胶也将迎来更大市场。目前,晶瑞电材的紫外负型光刻胶和宽谱正胶及部分g线等高端产品已规模供应市场数十年;i线光刻胶近年已向中芯国际等企业供货;高端KrF(248)光刻胶已完成中试,建成了中试示范线进入客户测试阶段;ArF高端光刻胶研发工作已启动。 在光刻胶方面,彤程新材也将获得更高的增长。今年上半年,彤程新材新增的10只光刻胶产品获得长江存储、中芯北方等用户订单,并趁着信越缺货之际迅速完成了KrF光刻胶产品放量。公司旗下北京科华是国内最先进的光刻胶公司,其上半年半导体光刻胶业务实现营收5647.83万元,同比增长46.74%,其中KrF光刻胶产品营收较上年同期更是大增94.51%。 大硅片占到晶圆厂耗材比例近37%。沪硅产业是国内最先进的12英寸大硅片厂商,已覆盖中芯国际、长江存储等国内主流的晶圆厂 、存储厂。公司目前月产能已经达到25万片,并提出年底实现30万片/月的产能目标。在业内人士看来,硅片厂月产能达到30万片,就开始具有规模效应。 此外,安集科技是国内CMP抛光液龙头公司。鼎龙股份的CMP抛光垫7月的产能已突破1万片,其中12英寸占比超过80%。

综上看见,随着市场的变迁,产业的发展,国产半导体设备及材料领域开始崭露头角。而中芯国际的扩产,有望给这些方兴未艾的企业再添发展动力。