《科创板日报》（深圳，记者 莫磬箻）讯，9月29日早间，晶瑞股份（300655.SZ）发布公告称，公司拟向不特定对象发行不超5.5亿元可转债，用于集成电路制造用高端光刻胶研发项目、阳恒化工年产9万吨超大规模集成电路用半导体级高纯硫酸技改项目、补充流动资金或偿还银行贷款，分别投入3.13亿元、7200万元和1.65亿元。（注：三大项目总投资8.41亿元，其中使用募投资金5.5亿元）

图〡晶瑞股份可转债募投项目；来源：公司公告

与此同时，晶瑞股份还披露，为开展上述集成电路制造用高端光刻胶研发项目，拟通过Singtest Technology PTE. LTD.进口全球第二大内存芯片制造商韩国SK Hynix（即SK 海力士）的ASML光刻机设备，总价款为1102.5万美元。这一消息在资本市场引发了关注。

今日早盘晶瑞股份强势涨停，截至发稿每股42.86元，上涨19.99%。

《科创板日报》记者从业内人士处了解到，上述价款（1102.5万美元）为一台光刻机的价格，即晶瑞股份本次采购数量应为一台。截至发稿公司未予以正面回应。

无疑晶瑞股份所采购光刻机到位后将用于光刻胶产品的生产。据《科创板日报》记者了解，光刻胶一直以来都被称为电子化学品中皇冠上的明珠，可见其重要性和技术难度之大。在i线光刻胶领域部分产品目前已有国内供应商可以实现供货，满足0.35um制程的需求，也有个别的Krf光刻胶实现技术突破，可以少量供货，满足客户0.18um制程的需求，但与国际主流厂商之间仍存在技术差距。现阶段国外领先厂商已经实现在Arf光刻胶的稳定供货，对于应对最先进的7nm、5nm制程的EUV光刻胶也实现量产供货。

公告显示，晶瑞股份已于9月8日通过代理商 Singtest Technology PTE. LTD.向 SK Hynix就该ASML光刻机 报价，并于2020年9月24日确定中标。公司方面称，本次采购ASML光刻机设备可以保障前述集成电路制造用高端光刻胶研发项目关键设备的技术先进性和设备如期到位并投产，对加快项目进度有积极影响。

据了解，晶瑞股份光刻胶产品由其子公司苏州瑞红生产，后者规模生产光刻胶近30年，产品主要应用于半导体及平板显示领域。财报显示，2019年度、2020年1-6月苏州瑞红分别实现营收3.49亿元、1.13亿元；同期净利润分别为3862.20万元、966.55万元。

高端光刻胶方面，据悉，公司高端KrF（248）光刻胶处于中试阶段；紫外负型光刻胶和宽谱正胶及部分g线等高端产品则已规模供应市场数十年，i线光刻胶近年已供应国内头部芯片公司。